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中国电子科技集团公司第48研究所是我国唯一的从事研究开发制造以"三束"为主的半导体微细加工设备的厂家. 它通过了 GB/T1 9001-2000 (idt ISO9001:2000) 质量体系认证.我所主要开发五大系列的产品:1、离子注入机电子束曝光机扩散氧化系统CVD设备外延设备;2、磁性材料烧结设备;3、LED制造设备; 4、薄膜压力传感器；5、 SOI材料研究开发和材料改性的研究开发。目前，我所大力发展太阳能电池，在北京建成一条太阳能电池生产线。 |
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粤B2-20050444